化学药剂的选择考虑到清洗液的物理特性对超声清洗的影响，其中蒸汽压、表面张力、黏度以及密度有影响因素。温度能影响这些因素，所以它也会影响空化作用的效率。
大部分清洗系统必须使用清洗液。水性系统通常由敞口槽组成，工件浸没其中。而复杂的系统会由多个槽组成，并配备循环过滤系统、清洗槽、漂洗槽、干燥槽以及其它附件。
对于使用溶剂的系统，多为超声波汽相除油脂清洗机，常配备废液连续回收装置。超声波汽相清除油脂过程是由溶剂蒸发槽和超声浸洗槽组成的集成式多槽系统完成的。在热的溶剂蒸汽和超声激荡共同作用下，油、脂、蜡以及其他溶於溶剂的污垢就被除去。经过一系列清洗工序后下料的工件发热、洁净、干燥。
选择清洗液时，应考虑以下三个因素：
1. 清洗效率：选择**有效的清洗溶剂时，一定要作实验。如在现有的清洗工艺中引入超声，所使用的溶剂一般不必变更;
2. 操作简单：所使用的液体应安全无毒、操作简单且使用寿命长;
3. 成本：**廉价的清洗溶剂的使用成本并不一定****。使用中必须考虑到溶剂的清洗效率、安全性、一定量的溶剂可清洗多少工件利用率****等因素。当然，所选择的清洗溶剂必须达到清洗效果，并应与所清洗的工件材料相容。水为**普通的清洗液，故使用水基溶液的系统操作简便、使用成本低、应用广泛。然而对於某些材料以及污垢等并不适用於水性溶液，那么还有许多溶剂可供选用。
